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    產品名稱：

  • DENKA TFE

產品用途：

高分辨率掃描電子顯微鏡，透射分析電子顯微鏡，半導體測試裝置（CD-SEM，DR-SEM EBI），電子束曝。

產品詳情：

概要

電化TFE可以在鎢單晶針狀物的表面上形成覆有鋯和氧的吸附層，從而被當作減少鎢的功函數的肖特基發射極來使用。不但具有超過單晶體LaB6陰極100倍以上的光亮度而且能量偏差小，即使是低加速電壓也可以有縮小探頭直徑的可能性。因此最適合應用在半導體材料和設備機械的表面觀察上。 此外，不僅放射電流是極其穩定的，還壽命長，因此以半導體檢查裝置或電子束曝光設備為首，在各種電子束應用設備上被使用采納。


特長

●通過先進的針加工技術，制造出多種大小范圍的曲率半徑的芯片。

●因為偏差小，所以具備再現性能好的電子發射特點。可以對應指定的電子槍的配置。

●此外，也可以提供芯片，壓縮機，引出電極為一體的模塊形式。


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